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探针台分类

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探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动
从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台

经济手动型

根据客户需求定制
chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选)
X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选)
chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离
显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)
显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)
探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关
可搭配Probe card测试
适用领域:晶圆厂、研究所、高校等

半自动型

chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm,微调升降16mm
可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6~8颗
显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"
可搭配Probe card测试
适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品

电动型

chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金)
X,Y电动移动行程300mm x 300mm
chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8~12颗
显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“
材质:花岗岩台面+不锈钢
可搭配Probe card测试
适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品

LCD半自动探针台

机械手臂取放片
电动、键入坐标寻位置
量测尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手动探针台

白炽灯或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量测分析
机台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量测探针台(TDR)

高频测试探头GSG / GS / SG
频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
机台尺寸同LCD 探针台

太阳能产业探针台(Solar Cell 量测系统)

量测软体:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太阳光模拟器


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