设为首页    收藏本站

长恒荣创首页
      产品列表
洗瓶机
探针台测试系统
探针台配件
超声波压焊机
小型镀膜系统
光刻机
导电银浆
      资质荣誉
      联系我们
北京长恒荣创科技有限公司
地址:北京市丰台区小屯路8号
电话:010-56531968 15210948502
传真:010-68187352
邮箱:3091894292@qq.com
产品中心

小型磁控溅射系统

[关闭该页][设为首页][添加收藏][发送朋友][打印][ ]

1. 腔室尺寸:Ф246×228mm,1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接;

2. 样品台尺寸:Ф75mm,高度:60~120mm可调,旋转:0-20r/min可调;

3. 真空系统:机械泵(TRP-24,6L/s)+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s);GDC-25b电磁挡板阀,DN25mm 限流阀;

4. 极限真空:8.0×10-5Pa;

5. 真空抽速:大气~8×10-4Pa ≤ 20min;

6. 真空测量:全量程复合真空计,测量范围:105Pa~10-5Pa;

7. 磁控靶:Φ2英寸2只(含靶挡板),兼容直流电源和射频电源;

8. 溅射电源:直流和射频可选;

9. 质量流量计:20sccm、50sccm质量流量控制器各一套;

10.控制方式:PLC+触摸屏智能控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能;

11.设备外形:L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架,预留1个KF40法兰接口;

12. 设备供电总功率≤2KW,220V,单相三线制(一火一零一地);

13. 冷却循环系统:水压0.2~0.4MPa,水温10~25℃,给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水


[栏目首页]- [小型镀膜系统]
【上一个】 小型热蒸发系统     【下一个】 超声波压焊机
体视金相荧光显微镜,奥林巴斯显微镜,偏光显微镜
点击这里给我发消息

友情链接: 友情链接: |帕劳旅游 |帕劳 |整流器生产厂家 |二手纸机 |易水砚 |蠕动泵 |复卷机 |浮盘|卫生纸复卷机 |蠕动泵 |烧纸机 |无功补偿 |谐波治理 |狼牙山酒店|护坡模具|隔离墩模具|检查井模具|路沿石模具