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小型热蒸发系统

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1、腔室尺寸:Ф246×228mm,1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接;

2、样品台尺寸:可拆卸式,尺寸60×60mm,旋转:0-20r/min可调;

3、真空系统:机械泵(TRP-24,6L/s)+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s);GDC-25b电磁挡板阀;

4、极限真空:8.0×10-5Pa;

5、真空抽速:大气~8×10-4Pa ≤ 20min;

6、真空测量:全量程复合真空计,测量范围:105Pa~10-5Pa;

7、蒸发源:3组电阻蒸发源,3组间可切换,源间有防污板;

8、蒸发电源:直流蒸发电源1台,0 W~2000W连续可调,供3组蒸发源切换使用;

9、控制方式:PLC+触摸屏智能控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能;

10、设备外形:L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm机电一体化机架,预留1个KF40和一个CF35法兰接口;

11、设备供电总功率≤2KW,220V,单相三线制(一火一零一地);

12、冷却循环系统:水压0.2~0.4MPa,水温10~25℃,给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水;

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